高纯氨是电子工业中氮化膜的成膜气体,已经在半导体,液晶面板,氮化镓系LED生产中得到广泛应用;在多晶硅太阳能电池领域和满足航空热处理--- 渗氮或碳氮共渗工艺的要求的高纯氨的应用也在不断增加。针对NH3中的水份脱除工艺研究,对于气态氨在脱水过程中出现的各种复杂问题解决,确保设备长期稳定运行,纯氨含水量小于1PPm以下。
氨气在常温常压下为具有特殊刺激性恶臭的无色有毒气体,比空气轻。氨在常温下稳定,但是在高温分解成氢和氮。一般在一个大气压下450~500℃时容易分解成氢氮混合气。在空气中可燃,但一般难以着火,如果连续接触火源就燃烧,有时也能引起爆炸。氨呈碱性,具有强腐蚀性。