稀有金属区域提纯炉|CY-MT1200-50IT

 该区域提纯炉主要由：高温梯度炉、真空炉管、真空法兰、电子真空计、质量流量计、分子泵组、直线导轨、速度控制器等重要部件构成。广泛用于半导体锗、硅提纯还可以用于金属、金属间化合物提纯。

 

主要技术参数：

工作温度：1200℃

炉管长度：1200mm

炉管直径：50mmm

炉管厚度：5mm

密封方式：不锈钢真空法兰

真空度：1.010E-3Pa

流量计类型：质量流量计

气体流量：100SCCM、200SCCM、500SCCM

载料舟长度：200mm

移动速度：160mm/60min（可根据实际要求调节）

温度控制：50段可编程控制

控制系统：全电脑程序控制