2 工艺点钩点小,新的圆形工艺点在硅片上的钩点面积是1.472mm²,新的菱形工艺点钩点面积是0.619mm²。
3 使用寿命长。
4 采用德国西格里高纯石墨,纯度高、硬度高、耐磨、使用寿命长。
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