韩国TK SCT超高纯在线式气体过滤器

       TKSCT气体过滤器系列有:哈式合金气体过滤器不锈钢气体过滤器PTFE气体过滤器IGS气体过滤器陶瓷气体过滤器  材质结构超高纯在线式过滤器  ■哈式合金气体过滤器全哈氏合金结构  ■ 高温及动态压力测试  ■ 不锈钢气体过滤器全316L不锈钢结构  ■ 尺寸紧凑，可变的末端连接  ■ PTFE气体过滤器滤芯为PTFE材质,本体材质为316L，内部电解抛光 ■ IGS气体过滤器具有高可靠性耐冲击和震动 ■陶瓷气体过滤器内部为316L 电解抛光处理  广泛应用于化学品行业 产品特性 ▪ 流量大，12-800SLPM ▪ 受腐蚀的部位采用哈氏合金，适用于惰性气体及腐蚀性强的气体▪ 卓越的性能满足大多数半导体工艺气体▪ PTFE材料具备良好的抗腐蚀性能及兼容性 ▪ 过滤等级为0.0025μm，即使在高流速的情况下，也不会引起出口端压力的下降 ▪ 内部抛光等级为5Ra，防止其内部污染 ▪ 通过高温氮气及去离子水清洁，满足半导体行业的标准 ▪ 清洁及包装在100级洁净室内 ▪ 100%氦气检测