兆声波清洗不仅保存了超声波清洗的优点,而且克服了它的不足。兆声波清洗的机理是由高频(850kHz)振效应并结合化学清洗剂的化学反应对硅片进行清洗的。在清洗时,由换能器发出波长为1μm频率为0.8兆赫的高能声波。溶液分子在这种声波的推动下作加速运动,最大瞬时速度可达到750px/s。因此,形成不了超声波清洗那样的气泡,而只能以高速的流体波连续冲击晶片表面,使硅片表面附着的污染物的细小微粒被强制除去并进入到清洗液中。 兆声波清洗抛光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子,起到超声波起不到的作用。这种方法能同时起到机械擦片和化学清洗两种方法的作用。目前兆声波清洗方法已成为抛光片清洗的一种有效方法。
产品特点
兆声的产生有别于传统超声波的空化作用,避免造成对工件的损坏。
发生器配有液晶显示,以数字显示运行状态。
发生器配备PLL频率自动追踪系统,可与主电脑联系,外观设计精致。
安装简易,可配合及加入生产线使用。
兆声波清洗机对清洗硅片、硒化锌晶体,避免出现划伤效果相当好.