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主要特征 l 采用L型移动桥式，由两到三个高精度等高块稳固支撑Y向槽型导轨，左立柱与横梁、滑架、鞍座共同组成移动桥，运动部件采用高硬度轻质铝合金材料 l X轴和Z轴均采用超精加工及经过硬质阳极化处理的挤压轻质铝合金 l Y轴采用一体化槽型花岗岩导轨 l Z轴采用可调式气动平衡设计，提高了机器的动态性能，提升Z轴安全性 l 各运动轴均采用高性能直流伺服测速机组和单级多楔带减速系统 l 三轴采用预载荷空气轴承，运动更平衡，导轨永不受磨损 l 采用HEXAGON高分辨率金质光栅，分辨率高达0.039vm l 测量机三轴及工件都配置温度传感器，实时监控温度变化 机器型号 Function plus 10158 Function plus 10218 Function plus 10308 Function plus 122110 Function plus 123010 Function plus 152110 Function plus 153010 Function plus 152112 Function plus 153012 行程（mm） X 1000 1000 1000 1200 1200 1500 1500 1500 1500 Y 1500 2100 3000 2100 3000 2100 3000 2100 3000 Z 800 800 800 1000 1000 1000 1000 1200 1200 测量空间（mm） Dx 1364 1364 1364 1564 1564 1864 1864 1864 1864 Dz 151 151 151 151 151 151 151 151 151 Dz1 951 951 951 1151 1151 1151 1151 1351 1351 平台（mm） Ph 400 400 400 400 400 400 400 400 400 Py 2000 2600 3500 2600 3500 2600 3500 2600 3500 支撑（mm） Sy1 400 400 400 400 400 400 400 400 400 Sy2 1200 1800 2700 1800 2700 1800 2700 1800 2700 Sx 1300 1300 1300 1500 1500 1800 1800 1800 1800 外形尺寸（mm） L 2726 3326 4226 3326 4226 3326 4226 3326 4226 W 1780 1780 1780 1980 1980 2280 2280 2280 2280 H 3422 3422 3422 3622 3622 3622 3622 3822 3822 承重（kg） 1300 1800 2000 3000 3500 3000 3500 3000 3500 机器重量（kg） 5500 6500 9500 7600 11000 8600 13000 8800 13200 MPEe(μm) 3.1+L/300 3.5+L/300 4.0+L/300 5.0+L/300 MPEp(μm) 3.3 3.7 4.2 5.2 光栅尺分辨率(μm) 0.078 空间移动速度(mm/s) 433 空间移动加速度(mm/s2) 1039 流量/供气压力 2.5dm3/s(150 NImin). >0.7Mpa
注：工作环境为温度（20±2）℃, 湿度为45%-75%
