主要特征
—— 采用L型移动桥式，由两到三个高精度等高块稳固支撑Y向槽型导轨，左立柱与横梁、滑架、鞍座共同组成移动桥，运动部件采用高硬度轻质铝合金材料
—— X轴和Z轴均采用超精加工及经过硬质阳极化处理的挤压轻质铝合金
—— Y轴采用一体化槽型花岗岩导轨
—— Z轴采用可调式气动平衡设计，提高了机器的动态性能，提升Z轴安全性
—— 各运动轴均采用高性能直流伺服测速机组和单级多楔带减速系统
—— 三轴采用预载荷空气轴承，运动更平衡，导轨永不受磨损
—— 采用HEXAGON高分辨率金质光栅，分辨率高达0.039vm
—— 测量机三轴及工件都配置温度传感器，实时监控温度变化
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机器型号
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Function plus
10158
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Function plus
10218
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Function plus
10308
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Function plus
122110
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Function plus
123010
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Function plus
152110
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Function plus
153010
|
Function plus
152112
|
Function plus
153012
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行程（mm）
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X
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1000
|
1000
|
1000
|
1200
|
1200
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1500
|
1500
|
1500
|
1500
|
|
Y
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1500
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2100
|
3000
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2100
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3000
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2100
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3000
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2100
|
3000
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|
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Z
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800
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800
|
800
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1000
|
1000
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1000
|
1000
|
1200
|
1200
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测量空间（mm）
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Dx
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1364
|
1364
|
1364
|
1564
|
1564
|
1864
|
1864
|
1864
|
1864
|
|
Dz
|
151
|
151
|
151
|
151
|
151
|
151
|
151
|
151
|
151
|
|
|
Dz1
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951
|
951
|
951
|
1151
|
1151
|
1151
|
1151
|
1351
|
1351
|
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|
平台（mm）
|
Ph
|
400
|
400
|
400
|
400
|
400
|
400
|
400
|
400
|
400
|
|
Py
|
2000
|
2600
|
3500
|
2600
|
3500
|
2600
|
3500
|
2600
|
3500
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支撑（mm）
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Sy1
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400
|
400
|
400
|
400
|
400
|
400
|
400
|
400
|
400
|
|
Sy2
|
1200
|
1800
|
2700
|
1800
|
2700
|
1800
|
2700
|
1800
|
2700
|
|
|
Sx
|
1300
|
1300
|
1300
|
1500
|
1500
|
1800
|
1800
|
1800
|
1800
|
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外形尺寸（mm）
|
L
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2726
|
3326
|
4226
|
3326
|
4226
|
3326
|
4226
|
3326
|
4226
|
|
W
|
1780
|
1780
|
1780
|
1980
|
1980
|
2280
|
2280
|
2280
|
2280
|
|
|
H
|
3422
|
3422
|
3422
|
3622
|
3622
|
3622
|
3622
|
3822
|
3822
|
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|
承重（kg）
|
|
1300
|
1800
|
2000
|
3000
|
3500
|
3000
|
3500
|
3000
|
3500
|
|
机器重量（kg）
|
|
5500
|
6500
|
9500
|
7600
|
11000
|
8600
|
13000
|
8800
|
13200
|
|
MPEe(μm)
|
|
3.1+L/300
|
3.5+L/300
|
4.0+L/300
|
5.0+L/300
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|
MPEp(μm)
|
|
3.3
|
3.7
|
4.2
|
5.2
|
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|
光栅尺分辨率(μm)
|
|
0.078
|
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|
空间移动速度(mm/s)
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|
433
|
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|
空间移动加速度(mm/s2)
|
|
1039
|
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|
流量/供气压力
|
|
2.5dm3/s(150 NImin). >0.7Mpa
|
||||||||
注：工作环境为温度（20±2）℃, 湿度为45%-75%
