光罩推车

产品编号：YT80000093     产品名称：不锈钢光罩推车     使用客户：和舰科技

外部尺寸：W1560*D400*H1000
材质：SUS304*1.5MM双镜面 
适用于8寸晶圆厂光罩盒运输,每台可存放8寸光罩盒36片
设计规格：6层*6列，单面存取
设计类型：全密闭式
底部防静电处理，整体符合静电控制要求
类型可选：开放式，半开放式，自净型、密闭式、氮气保护柜

 

推车内部图

                                  

采用双开门设计，底部为空，防止室内扬尘污染光罩

 

整体密封处理，即使在通过非洁净区域运输只要不打门的确情况下亦能保证推车柜体内部不会污染

本公司可根据客户需求定制各种产品