纽瑞德特气99.9999%（6N）高纯硅烷

99.9999%（6N）高纯硅烷

项目名称	杂质含量（ppm)
硅烷 纯度指标（%） ≥99.9999
氩气（Ar）	≤0.05
氯硅烷（Chlorosilane)）	≤0.15
乙硅烷（Si2H6))	≤0.5
氦气（He）	≤1
一氧化碳（CO）	≤0.05
氧气（O2）	≤0.05
氮气（N2）	≤1
氢气（H2）	≤20
二氧化碳（CO2）	≤0.05
甲烷（CH4）	≤0.05
碳（C）	≤0.2
二氯二氢硅（SiH2Cl2)	≤0.5
甲基硅烷（CH3Si)	≤0.5
金属离子（metals)	≤0.03

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硅烷是1857年发现的，在之后100年左右的时间里，在工业生产中几乎没有任何用途。直到20世纪50年代，由于半导体技术的发展，它才开始在电子工业 生产中得到应用。20世纪80年代半导体工业迅速发展，硅烷用量才迅速上升。1984年国际硅烷市场的销量为70t，1986年增加到110t，每年以 12%～15%的速度递增。1990年全世界硅烷销量为240t。我国对硅烷的应用起步较晚，目前每年消耗量约数十吨。


硅烷气体用途：硅的外延生长、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料，太阳能电池，光导纤维，有色玻璃制造，化学气相淀积。纽瑞德特种气体供应高纯硅烷气体，硅烷价格全网最实在！硅烷气体用于集成电路制造、太阳能电池、涂膜反射玻璃等。