Aera FC-7700质量流量计

       作为针对各种应用的业界公认标准，Aera® FC-7700 系列 MFC 提供精确的流量控制，同时具备弹性密封的经济优势。对于半导体、平板显示器、数据储存、工业真空、及工业涂层的工艺及装备工程师，这一系列提供针对非腐蚀性气体应用（包括 CVD、PVD、蚀刻、离子注入、溅射、热氧化、光学玻璃镀膜、光纤、表面处理以及其它镀膜工艺）的高度可靠性和出色的性能。 性能:快速响应——设置点之间的流量沉淀时间不到2秒 无与伦比的可靠性——一年零漂移不到满标度流量的0.5% 易于整合——标准连接器和尺寸 出色的效果——优质薄膜特性特点:弹性密封 VCR , VCO, 及 Swagelok共容的连接 满标度流量范围为10 sccm - 200 slm 常关或常开的电磁控制阀 最大的净化模式流量——校准后最多100次 泄漏率为1x10-6 atm-cc/sec of He