Aera® FC-7800 系列MFC提供精确的流量控制以极佳的抗阻性能和超高防漏的金属密封,适合大部分气体控制用。 性能:快速的响应,响应时间<2秒. 无与伦比的可靠性——一年零漂移不到满标度流量的0.5% 易于整合——标准连接器和尺寸出色的效果——优质的薄膜特性特点:耐腐蚀性,流量范围从10sccm-200slmVCR® 、VCO®及 Swagelok®共容性连接 全金属密封 常关或常开的电磁控制阀泄漏率1 x 10-10 atm-cc/sec of He
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公司基本资料信息
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Aera® FC-7800 系列MFC提供精确的流量控制以极佳的抗阻性能和超高防漏的金属密封,适合大部分气体控制用。 性能:快速的响应,响应时间<2秒. 无与伦比的可靠性——一年零漂移不到满标度流量的0.5% 易于整合——标准连接器和尺寸出色的效果——优质的薄膜特性特点:耐腐蚀性,流量范围从10sccm-200slmVCR® 、VCO®及 Swagelok®共容性连接 全金属密封 常关或常开的电磁控制阀泄漏率1 x 10-10 atm-cc/sec of He