武汉纽瑞德特种气体有限公司

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	纽瑞德特气99.9999%（6N）高纯硅烷 99.9999%（6N）高纯硅烷项目名称杂质含量（ppm)硅烷纯度指标（%） 99.9999氩气（Ar）0.05氯硅烷（Chlorosilane)）0.15乙硅烷（S	2014-10-29