●可配国内外各个厂家的直线电机和光栅尺
●可配国内外各个厂家的直线电机驱动器、控制卡、工控机
●可选购重防护型,用于精密超精密生产设备
●上面可以装气浮转台(θ)(T2-AB-04更适合)
●可以增加Z向(T2-AB-04更适合)
●上面可以装微动台和反射镜,配合激光干涉仪,达到纳米级精度
●可提供订制服务,提供不同行程、承载、速度和精度的二维、三维、四维气浮工作台
序号
项目
内容
1
型号
T2-AB-03 T2-AB-04
2
最大承载
500N
3
最大行程
350mm * 350mm
4
运动直线度
±0.5μ
5
重复运动精度
±0.25μ