LED非接触式膜厚仪

 波长范围:360nm-1050nm

 快速全自动量测

 精密量测膜厚及折射率

     各种功能材料的光学常数测量和光谱特性分析

  15Å~至几个 um（依赖何种材料）

 椭货参数精度:  ≦0.01for Tan (ψ);  ≦0.01 for Cos (Δ)

 直接测量透明基板上之镀膜，无需基板背面处理或染黑

 与工研院长期的合作来往建立的光学基础，同时引进美国、法国、日本、德国等先进技术，并与不同业界客户交流的实务经验，因此相当了解客户的需求与困扰，所以无论在硬件与软件或是分析应用，都能满足客户的需求，目前国内外也有相当多的实绩。

   高质量之光学与电动元件，无需防震桌。

   灯泡更换容易，客户可自行操作，无需校正。

      FFT-在应用分析上，可除了椭圆仪原本的回归分析，还增加了傅利叶的分析方式，可针对不同的材料与厚度使用，User使用上更为便利与快速.

     具有Analyzer Tracking功能，可大幅提升量测精度，与PEM之效果相同。

   可搭配反射仪使用，可于日后Upgrade

   可量测透明基板，无需背后处理。

   可Upgrade为 in line量测设备。

   采用美国进口光谱仪，量测速度快。

   使用步进马达并非Rotating Polarizer，避免马答损坏。

      固定量测角度-70度，可避移动时所造成的量测误差与机械损害(光学仪器都应减少移动)。

      产品性价比极佳，质量与量测能力可达甚至超越国外仪器之水平，公司备有DEMO仪器，可供客户实施操作比较。

      应用：量测LED外延片、触摸屏镀层的厚度和折射率等参数。